基于以太网的低温等离子体测控系统

摘要：

针对低温等离子体设备系统的特点，构建了基于以太网的低温等离子体测控系统。设计开发了带有以太网和RS485接口的设备节点电路板，采用C#编写了上位机软件。测试发现通过上位机软件或者手动的方式可以控制真空泵的抽速、工作气体的进气量、直流高压电源放电电压。系统工作稳定、可靠，实时性满足控制要求。

关键词：以太网、RS485、低温等离子体

分类号：O53;TQ3

在线出版日期：2013-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-57,44