源于IC、超越IC微机电技术迈向标准化

摘要：

@@ 被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置.微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)的发展是建立在IC半导体技术的基础上,但制程上仍存在差异,例如晶圆大小、蚀刻、双面配向、lithography critical dimension、牺牲层、handling、刮片、封装与测试等都有所差异,而且MEMS并没有标准制程.不过微机电组件潜力庞大的商机,仍然吸引着许多先天上具有技术优势的半导体业者的投入.目前比较具有成果的MEMS组件包括压力传感器、加速传感器、微陀螺仪、硅晶、话筒甚至生物芯片等,主要应用在汽车安全气囊、胎压监测、行动电话手机或者数字相机等消费性产品,且不断地有新的应用被开发出来,前景相当地看好.

机标关键词：微机电技术、mechanical system、组件、汽车安全气囊、精密机械加工、半导体技术、压力传感器、消费性产品、微加工技术、微机电系统、加速传感器、制造技术、应用、行动电话、微致动器、微陀螺仪、微传感器、胎压监测、数字相机、生物芯片

所属期刊栏目：33

分类号：TH1;TN4

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：13-18