直线模组运动精度补偿在预键合中的应用

摘要：

在预键合生产环节中,直线模组运动精度补偿主要用于解决由于工作台运行精度偏差造成的预键合误差,从而提高整机的键合精度.直线模组运动精度补偿是利用激光干涉仪的线性测长测量直线模组在全行程内的实际位置,再将实际位置偏差值通过补偿驱动器进行补偿设置,从而得到完全符合实际机构运行工况的运行数据.

关键词：直线模组运动精度补偿、激光干涉仪、线性测长、驱动器设置补偿

所属期刊栏目：52

分类号：TN305.96(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41