基于Opera-3D软件的碳化硅离子注入机光路设计与仿真

摘要：

碳化硅(SiC)离子注入机是碳化硅半导体器件制造的核心装备,其光路设计与仿真是碳化硅离子注入整机研发的关键核心技术.利用Opera-3D软件研究了 B+在不同注入能量下经加速、聚焦到靶室的传输包络图和束流截面形状,模拟仿真了 B+通过扫描器、平行透镜后的注入均匀性,并与实际验证结果进行了对比.结果表明:现有SiC离子注入机光路在50～350 keV能量范围内具有较好的束流截面形状、离子传输效率和注入均匀性,能够满足SiC离子注入工艺需要.

关键词：光学设计、Opera-3D软件、碳化硅、离子注入机、传输效率、建模与仿真

所属期刊栏目：52

分类号：TN305.3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;技术基础项目

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：25-30