半导体装备工程化批产脉动生产线技术应用与研究

摘要：

国产半导体装备在国家政策及国内市场的双重推动下迎来了新发展机遇,未来设备交货能力将成为半导体工艺设备厂商竞争的重点,为进一步提高设备出货及市场交货能力,加强企业竞争力,通过脉动生产线技术应用,使得国产半导体装备工程化批产能力建设进一步得到加强,目前该生产线年产能180台套装备,其中200 mm(8英寸)立式炉、150 mm(6英寸)SiC外延设备等半导体装备已实现研转批工程化批产生产.该技术在半导体设备制造过程中具有重要的应用价值,可以有效提高生产效率和产品质量.然而,目前该技术在实际应用中还存在一些问题,需要进一步研究和改进.希望本文的研究成果对相关领域的研究者和实践者有所启示和借鉴.

关键词：半导体装备、工程化技术、脉动生产线技术

所属期刊栏目：52

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13