半导体设备运动轨迹规划及平滑停止算法

摘要：

为满足半导体精密设备步进速度和精度的控制要求,步进运动轨迹应具备精度高、冲击小、速度快等特征.根据其运动轨迹特征,设计出四阶S型运动轨迹规划算法,但在实际应用中,一种轨迹规划通常并不能完全覆盖所有的使用场景.为实现能够根据实际需求提前停止的运动轨迹,在四阶运动轨迹基础上,通过使用轨迹拼接的方式设计出平滑停止算法.根据测试结果,四阶运动轨迹可以根据外部触发信号在任意时刻转为平滑停止轨迹,达到快速停止的目的,且轨迹不会产生额外的冲击力,确保了四阶运动轨迹原有的特征.

关键词：运动控制、轨迹规划、平滑停止、精密运动

所属期刊栏目：52

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：34-39