伺服电缸加压系统的压力控制方法

摘要：

针对大尺寸芯片倒装互连的大压力需求,设计了一种伺服电缸加压系统,利用碟簧放大了加压行程,通过双编码器反馈实现精确位移,应用PID算法对压力偏差进行实时修正,并通过小步距位移实现压力的精确控制;研究结果表明,伺服电缸加压系统在加压过程中可实现压力曲线的准确跟随,其可靠性、稳定性符合设计和应用要求,具有一定的推广意义.

关键词：伺服电缸、压力控制、加压实验、PID控制

所属期刊栏目：51

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2022-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：62-64,72