10.3969/j.issn.1004-4507.2022.04.001
半导体工艺与制造装备技术发展趋势
针对半导体工艺与制造装备的发展趋势进行了综述和展望.首先从支撑电子信息技术发展的角度,分析半导体工艺与制造装备的总体发展趋势,重点介绍集成电路工艺设备、分立器件工艺设备等细分领域的技术发展态势和主要技术挑战.
半导体工艺、集成电路工艺、制造装备、摩尔定律、超越摩尔定律、新材料
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TN305(半导体技术)
2022-10-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
1-7,11