湿法工艺设备高温化学液的直排技术研究

摘要：

湿法工艺设备中经常使用到具有强腐蚀性的强酸类高温化学液,例如160℃的SPM、270℃的H2 SO4+H3 PO4混合液等.普通的排放方式无法实现高温化学液直接排放.先自然降温再排放的方式换液时间长,各种辅助降温方式,都存在着不足和安全隐患,降温效果不甚理想.以虹吸原理和射流泵理论为基础,通过理论计算、场强模拟,提出两种适用于高温、强腐蚀性化学液直接排放的技术:一种是设计气虹吸吸液器,验证关键尺寸喉嘴距,最终实现了湿法工艺设备中的高温化学液直排到副槽,在副槽内降温后,排放至专用回收管路.另一种是设计水虹吸泵,通过实验验证关键尺寸,实现湿法工艺设备中的高温化学液直接降温排放至化学液回收管路.两种直排方式都可以有效地缩短高温化学液的换液时间,提高生产效率.

关键词：高温化学液;直排技术;虹吸原理;射流泵原理;喉嘴距

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-63,67