基于面阵相机识别生成晶圆图谱的算法研究

摘要：

介绍了两种基于面阵相机识别生成晶圆图谱(Wafer Map)的算法,并对两种算法的执行效率和适用范围进行了比较,两种算法根据执行效率和适用范围的不同,应用于不同的半导体设备.

关键词：面阵相机;相机识别;晶圆图谱;算法应用

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：39-41