碳化硅用多线切割机张力控制系统技术研究

摘要：

介绍了一种碳化硅用多线切割机张力控制系统的组成结构、工作原理,通过对多线切割机张力控制系统进行深入地理论研究,建立了控制系统的运动学和动力学模型.在此基础上,提出了一种PID速度同步跟随控制方案,经多次实验数据和结果表明,该方案可靠、稳定、控制精度高、调整方便.

关键词：碳化硅;多线切割机;张力控制系统

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：22-26