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10.3969/j.issn.1004-4507.2021.05.005

MOCVD设备射频感应加热原理与故障分析

引用
介绍了MOCVD设备射频感应加热系统的工作原理及技术特点.结合射频感应加热系统的组成,详细叙述各主要模块的典型故障及维修技术,重点分析射频功率源电路故障及维修.针对射频系统阻抗失配现象,提出了阻抗匹配调整的实用方法.根据多年的设备维护经验,归纳MOCVD设备射频感应加热系统的常见故障,给出了快速检查处理措施.

金属有机物化学气相淀积;射频感应加热;阻抗匹配;振荡器

TN304.055(半导体技术)

2021-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共6页

16-21

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

2021,(5)

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