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10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.008

基于神经网络的IC芯片图形缺陷检测技术研究

引用
基于卷积神经网络的IC芯片图形缺陷检测方法,针对具有缺陷特征的图形图像样本集进行机器深度学习训练,可实现对IC芯片图形中如断线、起泡、腐蚀、划痕、裂纹、污染、崩边等图形缺陷的识别和区分.实验证明,这种方法可用于集成电路芯片的图形缺陷测试.

芯片测试、图形缺陷检测、卷积神经网络、图形缺陷样本、机器学习

50

TN407(微电子学、集成电路(IC))

2021-07-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

35-41

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1004-4507

62-1077/TN

50

2021,50(3)

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