晶圆级微波测试工艺研究

摘要：

从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望.

关键词：微波探针台、晶圆级测试、电磁屏蔽

所属期刊栏目：50

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：46-51