智能制造的大数据分析

摘要：

过去几年,应用材料公司在探索半导体制造业的大数据分析方法上一直走在业界前列.除了赞助美国、亚洲和欧洲先进制程控制(APC)大会”1”等重要的相关技术会议,应用材料公司在此方面的工作还体现在《IEEE半导体制造会刊》(IEEE Transactions in Semiconductor Manufacturing)”2”等同行评审期刊上发表的相关论文.公司在瑞士曼迪匹艾(MDPI)的开放期刊Processes上发表的一篇此类文章,获得了2016年和2017年度“最佳论文奖””3”.

机标关键词：智能制造、Semiconductor Manufacturing、应用材料、半导体、制程控制、相关论文、同行评审、开放期刊、技术会议、分析方法、制造业、大数据、赞助、亚洲、瑞士、欧洲、美国

所属期刊栏目：48

分类号：TP3;TH1

在线出版日期：2020-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：67-70