加热吸附平台表面翘曲问题研究

摘要：

运用Solidworks Simulation软件对一款加热吸附平台表面受热发生翘曲变形问题进行了分析,找到了加热吸附平台表面发生翘曲变形的原因,根据分析结果对该加热吸附平台的结构进行了改进,解决了加热吸附平台表面受热发生翘曲变形的问题.

关键词：有限元分析、加热吸附平台、热变形

所属期刊栏目：48

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2019-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：46-49