10.3969/j.issn.1004-4507.2019.03.009
金刚线在硅晶体切割领域的应用研究
金刚石切割线近年来迅猛发展,通过与传统砂浆切割工艺对比分析优缺点,详细介绍了新材料金刚石切割线的分类、特性、结构原理、切割工作原理以及发展前景.
金刚线、超精细、损伤层、碎片率
48
TN305.1(半导体技术)
2019-07-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
33-36
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10.3969/j.issn.1004-4507.2019.03.009
金刚线、超精细、损伤层、碎片率
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TN305.1(半导体技术)
2019-07-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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