电化学沉积设备在集成电路制造中的应用及发展现状

摘要：

根据集成电路发展的趋势,分析了电化学沉积设备在集成电路行业的应用.通过及国外各主流设备的特点及国内设备的现状阐述,指出了国内在电化学沉积设备及技术方面,与国外水平存在巨大的差距.

关键词：电化学沉积、集成电路、应用

所属期刊栏目：45

分类号：TN304.5(半导体技术)

在线出版日期：2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-6,25