影响硅片翘曲度的设备因素分析

摘要：

剖析了多线切割的工作机理和硅片切割原理,对影响硅片翘曲度的设备关键部件进行理论分析,并通过切割试验来对分析的结果进行论证;同时,创建切割钢线的理想力学模型,利用偏微分方程对模型进行力学分析,分析出切割钢线工作时的振动特性,并进一步论证钢线振动诱发的加工特性对硅片翘曲度的影响.

关键词：多线切割、硅片翘曲度、力学模型、振动特性

所属期刊栏目：45

分类号：TN948.43

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：7-14