EV集团将GEMINI(R)300 mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业
EV集团(EVG)是微电子机械系统(MEMS)、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商,该集团宣布其EVG GEMINI(R)300 mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的(MEMS)微电子机械系统大批量制造(HVM).这是微电子机械系统工业(MEMS)的重要里程碑.高压永久性键合与EV集团基准优异的温度及压力均匀性结合在一起,经生产验证的GEMI-NI(R) 300 mm平台现在将这一关键工艺带入了300 mm微电子机械系统的生产制造.
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TG2;TU5
2016-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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