基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析

摘要：

介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法,并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理,结合多年的投影光刻机维修经验分析了两例双频激光干涉仪及工作台系统的故障和解决步骤.

关键词：投影光刻机、双频激光干涉仪、多普勒效应

所属期刊栏目：45

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2016-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30