10.3969/j.issn.1004-4507.2015.12.009
基于MATLAB的升降式抖动机构运动仿真
通过对晶圆清洗过程中常用抖动机构的分析,将其等效为偏心曲柄-滑块机构.建立数学模型,分别推导出曲柄的角位移、角速度、角加速度和滑块的位移、速度、加速度,并应用MATLAB软件进行仿真,得到了滑块的位移、速度及加速度曲线.
晶圆、清洗、抖动机构、偏心曲柄-滑块
44
TH132
2016-04-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
38-41
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1004-4507.2015.12.009
晶圆、清洗、抖动机构、偏心曲柄-滑块
44
TH132
2016-04-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
38-41
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn