10.3969/j.issn.1004-4507.2015.11.002
GPP器件关键工艺设备制造技术研究
简要介绍了GPP二极管工艺制造流程,着重阐述了P-N结钝化玻璃保护覆层制作工艺中V型沟槽的湿法刻蚀工艺,通过溶液温度、溶液流场及晶圆旋转运动控制技术,实现沟槽湿法刻蚀深度、宽度等均匀性,从而保证玻璃覆层的厚度及附着性,提高GPP二极管的性能.
晶圆、玻璃钝化二极管、湿法刻蚀
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TN605(电子元件、组件)
2015-12-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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