f-θ扫描物镜设计与研究

摘要：

以初级像差理论为基础,借助ZEM A X 光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜.

关键词：半导体设备、f-θ透镜、线性、负畸变

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：45-50