基于AD630的阻抗在线监测系统设计

摘要：

为了测量引线键合过程中芯片阻抗的变化,采用了DSP控制的阻抗测量方法,即用直接数字频率合成器(DDS)产生同步的正交信号源,用相关法器件AD630对阻抗数据进行处理,AD采样后将结果送入DSP中,通过上位机显示并在线监测.通过实际应用验证,该方法提高了测量精度.该系统有重要的推广价值,可应用到有类似需求的设备中.

关键词：交流阻抗法、锁相放大器、引线键合

所属期刊栏目：43

分类号：TN405.96(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-22