半导体生产厂房化学液集中供应系统设计

摘要：

根据半导体厂房的工作环境、化学液类型与用途和系统供应目的等,提出了常用化学液集中供应的基本要求,从而得出半导体厂房化学液集中供应的系统设计,系统设计包括系统类型、基本构成、控制流程以及安全技术措施等.

关键词：化学液供应、半导体生产、系统设计、安全技术措施

所属期刊栏目：43

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9