MOCVD 的原理与故障分析

摘要：

介绍了MOCVD法的基本原理、生长步骤以及主要优缺点；并以某型号MOCVD设备为例，介绍了其主要结构组成，分析了影响MOCVD工艺的主要因素，结合维修经验总结了MOCVD的常见故障现象以及相应的解决方法。

关键词：金属有机气相淀积、外延生长、故障分析

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2015-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-40