提高晶圆扫描效率的方法研究

摘要：

从测试晶圆上未划切的手机摄像头芯片引出一个问题：如何快速确定晶圆的有效测试范围，提出了“全片扫描”和“边缘扫描”两种方法，阐述实现原理后，分析各自的优缺点，利用实验数据进行效率对比，发现“边缘扫描”效率更高。

关键词：晶圆测试、晶圆扫描、扫描效率、全片扫描、边缘扫描

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2014-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：42-47