LCD生产线自动曝光机浅析

摘要：

对进口自动曝光机（M A-5501M C ）设备的工作原理，技术精度及平时出现的主要故障进行了分析探讨，提供LC D 生产线上的自动曝光机设备的使用、调整、维护修理时参考。

关键词：曝光机、原理、维护

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2013-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39