10.3969/j.issn.1004-4507.2013.07.010
扩散炉自动上下料系统安全性设计
介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。
自动上下料系统、扩散炉、系统安全性
TN305(半导体技术)
2013-08-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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