10.3969/j.issn.1004-4507.2013.07.009
划切加工中晶圆的图像识别
针对划切设备加工中的一种常见材料LED 蓝宝石晶圆,来实现全自动对准与划切的要求,对于如何通过晶圆图像进行定位对准,详细阐述了一种基于边缘检测和模板匹配的定位方法。
划切加工、图像识别、定位、晶圆
TN305.1(半导体技术)
2013-08-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
32-36
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10.3969/j.issn.1004-4507.2013.07.009
划切加工、图像识别、定位、晶圆
TN305.1(半导体技术)
2013-08-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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