激光加工中切割PZT陶瓷的时序设计

摘要：

针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求,改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式,设计并实现新的激光加工工艺时序,拓展了激光加工设备的应用领域.

关键词：激光加工、时序设计、PZT陶瓷

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-28