10.3969/j.issn.1004-4507.2012.12.004
一种新型的底部对准光学系统设计
介绍了一种新型的底部对准系统,倍率的变化不是靠换不同物镜,而是靠变换辅助物镜焦距来变换倍率。x,y向工作台带动整支光路运动,不会给光路带来光轴偏离误差,z向调焦则通过前后移动物镜观察成像。
曝光机、底部对准系统、共轭距无限远类型
41
TN305.7(半导体技术)
2013-02-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
17-20
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10.3969/j.issn.1004-4507.2012.12.004
曝光机、底部对准系统、共轭距无限远类型
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TN305.7(半导体技术)
2013-02-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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