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10.3969/j.issn.1004-4507.2012.10.002

超声技术在半导体行业中应用探隶

引用
晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。

超声波、兆声波、清洗

41

TN305.97(半导体技术)

2012-12-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共3页

4-5,20

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1004-4507

62-1077/TN

41

2012,41(10)

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