硅片在丝印线上的传输与搬运方法

摘要：

介绍了太阳能电池片的生产工艺流程,描述了在太阳能电池片丝印线上硅片的几种自动传输与搬运方法,剖析了吸盘、带及特制的机械手三种传送方式的优缺点及其应用场合,并进一步阐述了特制机械手的基本结构与性能。

关键词：硅片、传输、搬运、机械手、太阳能电池

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-20,40