掩模清洗机加热系统控制及故障排除

摘要：

在集成电路掩模（Mask）生产过程中，清洗机是关系到掩模制板质量的一个重要设备。N为掩模工艺需要使用大量的化学溶剂．并需配置多个加热控制系统，致使清洗设备成为一个故障率高、易损件损坏多的设备。介绍清洗机加热系统控制原理，其中包括GeniusI／0、手持监控器、PID控制、电流监控器、安全电路和加热脉冲。对其控制原理及电路进行了解析，最后通过应用实例给出了故障的排除方法。

关键词：掩模、手持监控器、PID控制、06流监控器、安全电路、加热脉冲

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：39-45