全自动晶圆划片机软件系统的．设计与实现

摘要：

介绍了全自动晶圆划片机设备软件系统的设计与实现。根据设备自动化程度高，功能模块多、复用性强、耦合性强且复杂的特点，将软件系统按照层次化、模块化设计．并提出“二次封装”、界面脱离运动逻辑功能的思想。

关键词：全自动晶圆划片机、软件控制系统、二次封装、运动逻辑

所属期刊栏目：41

分类号：TN305.1(半导体技术)

资助基金：国家02重大专项课题2002ZX02010.17

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-6,14