故障树分析法在PTC水压层压机故障诊断中的应用

摘要：

层压机是一种广泛应用于半导体及微电子工业中的设备,PTC水压层压机和一般国产层压机相比具有结构复杂,系统参数多的特点,在这里针对这些特点,以故障树分析法对其常见的典型故障进行表述和分析,为能够准确判断故障点,缩短维修周期,提供依据。

关键词：故障树、层压机、液压系统、维修、故障

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-45,50