直拉式单晶炉整体结构静力分析

摘要：

TDR-120型直拉式单晶炉的底部多块垫铁的受力为超静定问题,从材料力学的角度,无法准确获得每块垫铁上的受力。采用ANSYS软件进行静力分析,建立机架部分有限元模型,以该单晶炉在不同工作情况下的受力为研究对象,对比分析了两种不同的方案下3种典型工况机架的变形情况和应力分布,利用软件后处理从微观应力云图提取来确定宏观力,进而获得炉体底座下各垫铁承受的力。通过计算出的各垫铁的支承力对比分析了两种方案下机架结构的稳定性要求,验证单晶炉机架结构静态性能,为单晶炉结构方案的改进提供依据。

关键词：直拉式单晶炉、机架、静力分析、ANSYS后处理

所属期刊栏目：41

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2012-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-28,56