MCVD料温控制系统的改进

摘要：

MCVD料温控制系统的改进设计方案一改传统的半导体制冷控制和水浴、油浴的加热、制冷交替作用来维持料温的动态平衡状态,为了更精确地控制料温以及最大限度地降低能耗,采用硅橡胶加热带作为加热源,用我所现有的7℃水作为冷环境条件。克服了温度震荡平衡的缺陷,把料温控制在一个相对恒定的范围内,最大限度地去除了料温波动。完全满足光纤预制棒单模、硼棒等工艺要求,达到稳定运行水平。

关键词：温度控制、热源、环境、制冷

所属期刊栏目：40

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-6,32