10.3969/j.issn.1004-4507.2011.09.010
用于硅片传输系统的机械手设计
介绍了用于硅片传输系统的机械手发展现状,主要针对300 mm全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计,对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线中其他工艺设备的应用,对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。
硅片、传输系统、机械手、探针测试台
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TP241.3(自动化技术及设备)
2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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