10.3969/j.issn.1004-4507.2011.04.007
碳/碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究
介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异.通过在单晶炉上的实验应用,证明了碳/碳复合材料比石墨材料具有更好的实际应用效果,在直拉硅单晶领域具有很好的应用潜力.分析了碳/碳复合材料的一些不足,并提出了相应的解决方案.
碳/碳复合材料、直拉单晶炉、热系统保温装置
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TN304.053(半导体技术)
2011-07-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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