大角度离子注入机的束纯度控制

摘要：

从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性.

关键词：大角度离子注入机、加/减速、多电荷、束线系统、束能量纯度、二次离子质谱分析仪(SIMS)

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2011-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：21-23