10.3969/j.issn.1004-4507.2010.09.004
大角度离子注入机的束流自动调节
阐述了大角度离子注入机的柬流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束.从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍.
大角度离子注入机、自动束流调节、菜单、固定法拉第杯、均匀性
39
TN305.3(半导体技术)
2010-12-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
17-22
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10.3969/j.issn.1004-4507.2010.09.004
大角度离子注入机、自动束流调节、菜单、固定法拉第杯、均匀性
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TN305.3(半导体技术)
2010-12-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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