装片机晶片台运动控制系统的分析

摘要：

论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统,实现了晶片台的高速、高精度定位控制.

关键词：高速粘片机、电机选型计算、运动控制技术、PID

所属期刊栏目：39

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家863项目20094A043103

在线出版日期：2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-16,25