大型单晶炉炉内压力的控制研究

摘要：

随着晶体生长理论和生长技术的发展,各种高纯度的晶体已经生产出来.这给晶体管的研制创造了便利条件,同时,也对生长设备的要求提出更加严格的要求.论述单晶炉炉内压力的控制;通过调节比例阀的开度起到改变抽气的速率;从而达到调节炉内压力的目的;实现了理想的压力控制.

关键词：机械泵、电动蝶阀、真空测头、PID控制、前馈控制

所属期刊栏目：38

分类号：TF806.7(有色金属冶炼)

在线出版日期：2009-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46