DXQ-601型多线切割机关键技术研究

摘要：

从SiC颗粒受力情况入手,建立理论模型,根据多线切割机锯切机理,分析了切削变形分力和摩擦力引起的锯切力以及锯切力与工件的厚度、工件进给速度、锯丝的锯切速度、工件材料的性质等的关系,为多线切割机研制提供理论依据.

关键词：多线切割机、锯切力、切削变形力、摩擦力

所属期刊栏目：37

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18