SB6键合机工艺腔净化过程的软件改进

摘要：

分子泵是高真空系统的核心部件,通过对SB6键合机真空系统和分子泵特性的分析,总结讨论了3个可能导致分子泵损坏的键合工艺过程,最后,提出对工艺腔净化过程的一个软件改进办法,这个改进的思路对从事半导体设备维修的专业人员而言是有一定帮助的.

关键词：SB6键合机、分子泵、分子气流、工艺腔净化工艺

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.96(半导体技术)

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-33,54