生产型GaN MOCVD设备控制系统软件设计

摘要：

对"用于GaN的生产型MOCVD"设备控制系统的软/硬件结构、关键技术进行了描述,介绍了国外几种生产型GaN MOCVD设备控制系统的特点:分析了MOCVD设备控制技术的发展趋势.

关键词：GaN MOCVD、自动控制、可编程控制器、软件

所属期刊栏目：35

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA311243

在线出版日期：2006-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-32,49