65 nm工艺及其设备

摘要：

介绍了65 nm工艺及其设备.它包括光刻工艺与193 nm Arf/浸入式光刻机、超浅结工艺与中电流/高电流离子注入机、铜互连工艺与PVD/ALD设备、CMP工艺与低应力CMP设备和清洗工艺与无损伤清洗设备等.

关键词：65nm工艺、设备、芯片

所属期刊栏目：36

分类号：TP271(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-20,48